槽式湿法刻蚀清洗设备Wet bench设备配置说明：设备类型：Cassette-type & Cassetteless-type，支持SMIF或Foup 晶圆尺寸：15…

设备配置：超声波震动仪2台气枪2只，水枪2只触摸屏1个（含PLC控制）液位sensor 3个及漏液检测sensor1对设备功能：可处理wafer破…

设备配置：超声波震动仪2台气枪2只，水枪2只触摸屏1个（含PLC控制）液位sensor 3个及漏液检测sensor1对设备功能：可处理wafer破…

设备配置说明：设备电机等部位增加保护罩，门检interlock等；设备内部操作区设置三防灯，方便观察；设备设置亚克力透明材料观察…